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百家乐ag跟og有什么区别 拓荆科技苦求缩短low-K氧化硅材料的K值的秩序专利, 缩短low-K氧化硅材料的K值
金融界2025年3月22日音信,国度常识产权局信息披露,拓荆科技(上海)有限公司苦求一项名为“缩短low-K氧化硅材料的K值的秩序”的专利,公开号CN119650428A,苦求日历为2024年12月。
专利概要披露,本发明属于半导体限制,具体地触及一种缩短low‑K氧化硅材料的K值的秩序。所述秩序包括要领:(1)将千里积有low‑K氧化硅材料的晶圆传至反馈腔;(2)预热所述千里积有low‑K氧化硅材料的晶圆;(3)使用氩气进行烦扰等离子体安装的燃烧;(4)缓缓减少氩气的流量而况缓缓加多氢气的流量直至氩气流量为零,使氢气不息处理所述low‑K氧化硅材料。本发明秩序通过烦扰氢等离子体编削low‑K氧化硅材料里面碳的构型缩短其K值。本发明烦扰氢等离子体时刻是一种全新的缩短low‑K氧化硅材料K值的秩序,该秩序绵薄、平直、高效且无需化学添加剂,而况该经过不会在low‑K氧化硅材料里面引入新的孔隙,AG百家乐透视软件本发明秩序为处置lowK氧化硅材料困难提供了新的处置决策。
天眼查尊府披露,拓荆科技(上海)有限公司,设备于2020年,位于上海市,是一家以从事科技合手行和行使奇迹业为主的企业。企业注册老本135253.79万东说念主民币,实缴老本95253.78万东说念主民币。通过天眼查大数据分析,拓荆科技(上海)有限公司参与招投标款式19次,财产陈迹方面有商标信息1条,专利信息236条,此外企业还领有行政许可11个。
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