金融界2025年3月22日音问,国度学问产权局信息泄漏,北京朔方华创微电子装备有限公司央求一项名为“半导体清洗开垦”的专利,公开号CN119650455A,央求日历为2023年9月。
专利摘录泄漏,本央求公开一种半导体清洗开垦,其中,因循座装配于清洗腔内,且因循座用以因循待清洗件,输入管路的一端与清洗液源连通,喷淋头装配于输入管路的另一端,且喷淋头装配于清洗腔内;排液组件包括排液缸和排液活塞,排液活塞活动缔造于排液缸之内,且排液活塞和排液缸围成容纳腔,容纳腔与清洗腔通过第一瞥液管路连通,ag百家乐刷水攻略容纳腔还通过第二排液管路与废液排放管路连通,第一瞥液管路设有第一瞥液阀,第二排液管路设有第二排液阀;在第一瞥液阀翻开以排放清洗腔内的液体至容纳腔之前,容纳腔处于负压情状。上述半导体清洗开垦不错处分当今半导体清洗开垦的排液规模较低,不利于擢升清洗工艺的责任规模的问题。
天眼查府上泄漏,北京朔方华创微电子装备有限公司,成立于2001年,位于北京市,是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册老本114153.708311万东说念主民币,实缴老本114153.708311万东说念主民币。通过天眼查大数据分析,北京朔方华创微电子装备有限公司共对外投资了7家企业,参与招投标形态1014次,财产印迹方面有商标信息43条,专利信息5000条,此外企业还领有行政许可339个。
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